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2025-04-17

微電子行業潔凈空調系統的空氣過濾器(HEPA/ULPA)安裝密封與維護


        在微電子行業中,潔凈空調系統的HEPA過濾器(HEPA/ULPA)安裝與密封是確保生產環境潔凈度的關鍵步驟。以下是詳細的流程與注意事項:

 

  •         安裝前準備材料與設備檢查 :
  •         確認HEPA過濾器型號、規格符合設計要求(如過濾效率、尺寸、框架材質等)。 檢查密封材料(如硅膠墊片、液槽密封膠)的兼容性與有效期,避免化學污染。在潔凈室中操作,確保安裝區域達到所需潔凈等級(如ISO Class 5或更高)。 提前清潔安裝框架及周圍區域,使用無塵布和酒精去除灰塵、油污。 操作人員穿戴防靜電服、手套、口罩,避免人體污染或靜電損壞過濾器。

 

  •         安裝步驟  
  •         用無塵布蘸取異丙醇或酒精擦拭安裝框架,確保無顆粒殘留。 確認過濾器氣流方向箭頭與系統設計一致,避免反向安裝導致效率下降或破損。避免碰撞濾紙,搬運時使用專用工具或雙手托住邊框。 將過濾器平穩放入安裝框,使用螺栓或壓條均勻緊固,力度適中以防變形。
  •  
  •         密封方式選擇

        機械壓緊密封 : 使用彈性墊片填充縫隙,通過壓緊裝置施加均勻壓力。 適用于FFU或小型過濾器,需定期檢查墊片老化情況。

        液槽密封 : 在安裝框密封槽內注入惰性密封膠,嵌入過濾器邊框,固化后形成無縫隙密封。 需控制膠水用量,避免溢出污染濾材,固化時間依環境溫濕度調整。

        負壓密封 : 通過系統負壓使過濾器緊貼安裝面,需確保框架平整度高。

  •         泄漏監測與驗證 PAO/DOP檢漏測試 : 在上游釋放PAO氣溶膠,下游用光度計掃描邊框及濾紙,泄漏率需≤0.01%(ULPA)或≤0.03%(HEPA)。 若發現泄漏,重新調整壓緊力度或補充密封膠。 確認過濾器面風速均勻(通常0.45±0.1 m/s),壓差在正常范圍內(初始壓差≤200Pa)。

 

  •         維護與更換定期檢查 : 每月檢查密封材料狀態,更換老化墊片或補膠。當達到初始壓差2倍時需更換過濾器。 記錄安裝日期、檢漏數據、壓差變化及維護操作,確保可追溯性。在干燥環境中操作時,使用防靜電工具防止靜電放電損傷濾材,通過嚴格遵循上述流程,可確保HEPA過濾器的安裝與密封質量,保障微電子生產環境的穩定性和產品良率。

 


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